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超臨界流體作為一種特殊的狀態,兼具液體和氣體的部分優良特性,在工業、化工、能源等眾多領域有著廣泛的應用。而準確測量超臨界流體的流量對于保障生產過程的精確控制、資...
質量流量計廣泛應用于各行業領域,如:工藝制造、食品分析、分析性測試與計量等。多變量測量以及50:1量程可調比,使得僅用一臺ACU10L液體流量控制器/流量計便可取代多臺設備的功效。質量流量計的組成:包括傳感器、變送器和顯示單元三部分,傳感器...
從科研實驗到工業制造,很多涉及氣體應用的行業都可能會使用混合型氣體;而且在很多實際應用中,需要進行多種氣體定量混合配氣,將不同氣體按一定的比例混合到一起,配出不同濃度、多種組分的工藝氣體后才能更好的滿足工藝性能的要求。對于單一組分的氣體,選...
對于氣體質量流量控制器MFC來說,在有些場景,例如半導體相關行業,分析儀器行業,科研實驗場景等,需要對氣體進行微流控制,使其流量很小,需要小于1SCCM,同時這種微流控制也需要較高的響應時間,因為流量很小,瞬間就會在氣路中通過所需的流量,所...
氣體是電子工業的“血液”,尤其在半導體、光伏、光纖、顯示器等行業中是關鍵性材料。例如,在集成電路制造中氣體的占比僅次于硅片,占晶圓制造成本的13%。主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。電子工業涉及的氣體品種繁多,用途五花八門,...
質量流量計MFM、流量控制器MFC、以及電子壓力控制器EPC是精度較高的流量儀表,在科研、醫療、食品、半導體及各行業工業領域有廣泛應用。大多數工業應用的流量儀表產品是通過電流或電壓模擬信號,或者數字通訊(Modbus、Devicenet,P...
質量流量控制器不僅能檢測總流量,并且能在檢測時自動控制總流量??蛻裟芨鶕旧淼乃柙O置總流量。一般來說,這種質量流量計僅用作流量測量或監測。該流量控制器采用毛細管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質量流量(無氣溫和負擔應對)。傳感器受熱橋測得的總流量...
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