高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM

一、ACU20FD 高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品概述：

◆精度更高，響應更快，帶網口；
◆管狀分流，不易堵塞；
◆適用于各種低壓和高壓管道；
◆預熱時間短，零漂小，可靠性高；
◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量；

◆數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協議可選；

二、產品應用：

真空鍍膜 / 太陽能、氫能等新能源 / 半導體 / 石油石化精細化工 / 電力冶金

環保 / 食品包裝 / 生物醫藥 / 新材料 / 工業制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統

三、ACU20FD 高精度氣體質量流量控制器MFC及流量計MFM 產品參數：  

滿量程范圍：2SCCM～6000SLM

準 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重復精度：±0.2%F.S
響應時間：流量計：＜0.1s；流量控制器：<0.2s
數 字  量：RS232/485，MODBUS等協議
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC，220V（轉接）
工作溫度：0～60℃
工作壓降：<0.01Mpa（流量計）
工作壓差：0.002~0.5Mpa （流量控制器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度系數：±0.025%F.S/℃
底座材質：不銹鋼
密封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM等
接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，請溝通定制。